该项目技术工艺线路采用目前国际最先进的电子化学品生产工艺,以多级深度纯化和树脂交换等提纯技术为主,全流程材质、环境、操作、检测执行高洁净标准。采用DCS和SIS等自动控制系统,生产安全稳定,工作环境好,劳动强度小。项目2023年5月投产,产品包括超净高纯电子级双氧水、超净高纯电子级氨水、电子级异丙醇、超净高纯铜蚀刻液等,产品质量可根据客户需求从G1到G5等级进行灵活调整。产品广泛应用于半导体硅晶片清洗、蚀刻、光刻胶去除等,配套晶合、长鑫存储、京东方、维信诺等国内半导体及面板企业。特别是电子级双氧水已通过长鑫存储的供应商认证,完成G5级产品首次槽车交付,适配高端芯片制造清洗工艺。在目前国家半导体战略实施关键时点,该项目实施有力地响应国家半导体产业国产化发展,减少了对欧美、日韩进口依赖,将半导体材料进行国产化,对半导体制造所需材料的先进技术在中国发展提供支持。

该设计项目荣获 2025年度中国石油和化工勘察设计协会石油和化工工业工程优秀设计奖
